[发明专利]沉积装置用微波传输装置有效
| 申请号： | 201610527970.6 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106337166B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 黄秉檍;郑萤雪;都在辙;金炅汉 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及沉积装置用微波传输装置，包括：导波管，连接于微波生成器；传达部，为了使微波通过而结合于所述导波管；及传输部，为了使微波传输于沉积装置的腔室而结合于所述腔室。所述电介质具有与所述导波管的导波路相同的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 微波 传输 | ||
【主权项】：
1.一种沉积装置用微波传输装置，其特征在于，包括：微波生成器，生成微波；导波管，连接于所述微波生成器；传达部，为了使微波通过而结合于所述导波管；及传输部，为了使微波传输于沉积装置的腔室而结合于所述腔室，所述导波管包括以第一轴方向具有第一宽度的导波路，所述传达部包括：用于通过微波的电介质；及阻止微波进入的屏蔽部件，所述电介质包括接触于所述导波路的第一连接面，并且所述第一连接面以所述第一轴方向形成所述第一宽度，以使所述第一连接面与所述导波路以所述第一轴方向为基准具有相同宽度。
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