[发明专利]一种样品空间扫描及定位装置有效
| 申请号： | 201610532956.5 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106198407B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 窦秀明;丁琨;孙宝权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/64;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种样品空间扫描及定位装置，其包括：底座，第一位移台，可滑动的固接于底座上，能够相对于底座在第一方向上移动；第二位移台，可滑动的固接于所述第一位移台，能够相对于第一位移台在第二方向上移动；第三位移台，可滑动的固接于所述第二位移台，能够相对于第二位移台在第三方向上移动；以及光路系统，用于光谱测量的激发和收集，采用三个位移台的联动设计使样品光谱收集物镜和光路实现同步三维空间移动，使光谱测量更加方便和高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 空间 扫描 定位 装置 | ||
【主权项】：
1.一种样品空间扫描及定位装置，其特征在于，包括：底座(13)；第一位移台(1)，可滑动的固接于所述底座(13)上，能够相对于所述底座(13)在第一方向上移动；第二位移台(3)，可滑动的固接于所述第一位移台(1)，能够相对于所述第一位移台(1)在第二方向上移动；第三位移台(5)，可滑动的固接于所述第二位移台(3)，能够相对于所述第二位移台(3)在第三方向上移动；以及光路系统，包括：第一反射镜(6)，固接于所述第一位移台(1)；第二反射镜(8)，固接于所述第二位移台(3)；以及物镜(12)，固接于所述第三位移台(5)；其中，发射光沿第一方向入射至所述第一反射镜(6)，沿第二方向反射至所述第二反射镜(8)，经第二反射镜(8)沿第三方向反射至物镜(12)，经物镜(12)透射沿第三方向射出聚焦至样品；所述样品经发射光照射后产生反馈光，沿发射光光路的逆光路返回；其中，所述第一方向、第二方向和第三方向为不重合的方向，所述第一位移台(1)固定设置有第一转接板(2)，所述第二位移台(3)可滑动的固接于所述第一转接板(2)上，所述第二位移台(3)固定设置有第二转接板(4)，所述第三位移台(3)可滑动的固接于所述第二转接板(4)上。
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