[发明专利]一种Ag‑Mg‑Al合金次级发射阴极材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610534671.5 申请日: 2016-07-08
公开(公告)号: CN106098501B 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 王金淑;张权;周帆;王飞飞;赖陈;董丽然;田明创;杨韵斐 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01J1/304 分类号: H01J1/304;H01J9/02
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司11203 代理人: 张慧
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种Ag‑Mg‑Al合金次级发射阴极材料及其制备方法,属于电子发射阴极技术领域。以金属银充当基体,以Mg、Al金属元素充当活性物质,通过感应熔炼、冷轧、退火和磨抛光工艺制备得到Ag‑Mg‑Al合金薄片;之后将合金薄片在0.5~50.0Pa低压氧气气氛下进行热活化处理,得到厚度为80‑120nm的MgO‑Al2O3复合薄膜层。本发明的新型Ag‑Mg‑Al合金阴极具有次级发射系数大、耐电子轰击、性能稳定、制备工艺流程简单等优点,有望应用于光电倍增管、铯原子钟等领域。
搜索关键词: 一种 ag mg al 合金 次级 发射 阴极 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
一种Ag‑Mg‑Al三元合金次级发射阴极的制备方法,其特征在于,主要按照下列步骤制备:A.以金属银充当基体材料,以金属Mg、Al充当活性物质,使用感应熔炼炉熔炼制备Ag‑Mg‑Al合金坯体;B.将熔炼好的Ag‑Mg‑Al合金坯体进行冷轧、退火、表面磨抛光和裁切,得到合金薄片;C.Ag‑Mg‑Al合金薄片在低真空条件下通入微量氧气进行热活化处理,在材料表面得到80‑120nm的MgO‑Al2O3复合薄膜层。
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