[发明专利]一种基于金属孔的磁性随机存取存储器结构及其金属孔、金属层制造工艺在审
| 申请号： | 201610538031.1 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107565015A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 陆宇;戴强;李辉辉;孟皓;刘少鹏;刘波 | 申请（专利权）人： | 中电海康集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/12 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙)33216 | 代理人： | 张慧英 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于金属孔的磁性随机存取存储器结构及其金属孔、金属层制造工艺，本发明利用金属孔替代与磁性隧道结相连金属层，从而来缩小位线的设计尺寸，在制造工艺上提供了重复曝光的方案来实现设计需求；本发明有效地提高了数据存储密度，降低了芯片面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 磁性 随机存取存储器 结构 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种基于金属孔的磁性随机存取存储器结构，其特征在于利用金属孔代替连接在磁性隧道结下的第一层金属，结构包括：有源区、多晶体栅极、后段金属与前段器件连接孔、第一层金属、第二层金属、金属孔、磁性隧道结；多晶体栅极设于有源区上方，将有源区分为源极与漏极；源极通过后段金属与前段器件连接孔与金属孔相连；金属孔上方连接有磁性隧道结；第二层金属连接在磁性隧道结上方；漏极通过后段金属与前段器件连接孔与第一层金属相连。
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