[发明专利]一种钼铝钼蚀刻液在审
| 申请号： | 201610539322.2 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN107587135A | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 康威;鄢艳华;尹静雅;陈昊 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钼铝钼蚀刻液，以钼铝钼蚀刻液的总重量为基准，包括磷酸35‑45％、硝酸1‑3％、冰醋酸8‑12％、添加剂0.5‑1.0％和去离子水39‑55.5％；所述添加剂包括有机多元膦酸类物质、胺类物质和盐类物质。本发明的钼铝钼蚀刻液能满足客户要求蚀刻角度和蚀刻量，提高产品优良率，同时大幅度降低磷酸含量，减少因磷酸浓度过大而产生的局部刻蚀不均的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钼铝钼 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种钼铝钼蚀刻液，其特征在于，以钼铝钼蚀刻液的总重量为基准，包括：磷酸35‑45％、硝酸1‑3％、冰醋酸8‑12％、添加剂0.5‑1.0％和去离子水39‑55.5％；所述添加剂包括有机多元膦酸类物质、胺类物质和盐类物质。
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