[发明专利]一种用于金刚线多晶硅片的喷砂装置

摘要

公开了一种用于金刚线多晶硅片的喷砂装置，包括支架系统、定位系统、传动系统、喷砂系统和砂浆系统，传动系统将待处理的金刚线多晶硅片传送至喷砂系统，喷砂系统将砂浆系统中的磨液喷涂到硅片表面，完成喷砂处理。通过对金刚线多晶硅片表面进行喷砂处理，能够改变金刚线多晶硅片的表面微观形貌，经过表面处理后的金刚线多晶硅片能够直接进行电池片的制作。

主权项

一种用于金刚线多晶硅片的喷砂装置，其特征在于包括：支架系统、定位系统、传动系统、喷砂系统和砂浆系统；其中：定位系统设置在传动系统上，包括至少一个真空载台、至少一个真空源和至少一个真空管；真空载台的上端面设置有通孔，真空载台的上端面用于承载金刚线多晶硅片；真空载台通过真空管可拆卸地与真空源连通；传动系统设置在支架系统上，用于驱动真空载台进出支架系统；传动系统包括：传动轨道、驱动单元和传动链；其中，传动轨道可拆卸地设置在支架系统上，用于承载真空载台、并限定真空载台进出支架系统的轨迹；传动链与驱动单元连接，其行进方向与传动轨道平行，传动链上设置有限位齿；传动链运动过程中限位齿驱动真空载台沿着传动轨道的方向进出支架系统；喷砂系统设置在支架系统内、并与砂浆系统连接，用于将砂浆系统中的磨液喷涂到金刚线多晶硅片的表面；喷砂系统的喷枪能够沿着垂直于真空载台运动的方向往复运动。