[发明专利]一种等离子体原位表征方法

摘要

一种等离子体原位表征方法，通过发射光谱仪、高速图像捕捉系统、数字示波器、红外成像仪与在线质谱仪对等离子体进行表征。光纤探头和第一图像采集器均置于等离子体放电反应器的放电核心区域。数字示波器的电压探头附属高压极与等离子体放电反应器的高压极相连，电压探头附属接地极与地线相连，电流探头与等离子体放电反应器相连；第二图像采集器朝向等离子体放电核心区域；在线质谱仪的进样管与等离子体放电反应区出口相连。一种等离子体原位表征方法，各部件协同配合，可全方位实时监测等离子体活性物种的种类和数量、等离子体放电状态、电流电压波形、等离子体电子密度、等离子体区温度分布和产物组成等，可对等离子体放电过程进行原位表征。

主权项

一种等离子体原位表征方法，其特征在于，通过发射光谱仪、红外成像仪、高速图像捕捉系统与数字示波器对等离子体放电反应器内等离子体进行表征；表征方法如下：第一步，将发射光谱仪的光纤探头置于等离子体放电反应器的放电核心区域；将红外成像仪的第二图像采集器朝向等离子体放电核心区域；将高速图像捕捉系统的第一图像采集器置于等离子体放电反应器的放电核心区域；将数字示波器的电压探头附属高压极与等离子体放电反应器的高压极相连，数字示波器的电压探头附属接地极与地线相连，数字示波器的电流探头与等离子体放电反应器相连；第二步，打开等离子体放电反应器，通过等离子体放电反应器得到等离子体；第三步，打开发射光谱仪、红外成像仪、高速图像捕捉系统与数字示波器，并通过发射光谱仪、红外成像仪、高速图像捕捉系统与数字示波器对等离子体进行实时表征。