[发明专利]一种多个匀胶单元的排废系统有效
| 申请号： | 201610548002.3 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107608180B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 高晓旭 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于涂胶与光刻胶工艺的排废领域，具体地说是一种多个匀胶单元的排废系统，匀胶单元为多个、均布于主体安装板上，每个匀胶单元外均设有收集杯，集液盒位于各匀胶单元的一侧，各匀胶单元的背喷排废口、去边排废口以及各收集杯的排废口分别与集液盒密封连接，集液盒的一端通过清洗管路与设备厂务口集中供应的清洗液相连通，并在清洗管路上设有控制清洗管路通断的气动药液阀，集液盒的另一端与排废盒相连通，排废盒上安装有实时监测排废盒内部废液液位的液位传感器，排废盒的出口处连接有气控隔膜泵，排废盒内的废液液位触发液位传感器后通过气控隔膜泵排出。本发明可以防止废液飞溅，及时将废液排出，并能对排废盒中沉积的废液有效清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多个匀胶 单元 系统 | ||
【主权项】：
一种多个匀胶单元的排废系统，其特征在于：包括主体安装板(10)及分别安装在主体安装板(10)上的匀胶单元(1)、集液盒(3)、排废盒(4)、气控隔膜泵(6)，其中匀胶单元(1)为多个、均布于所述主体安装板(10)上，每个所述匀胶单元(1)外均设有收集杯(2)，所述集液盒(3)位于各匀胶单元(1)的一侧，各所述匀胶单元(1)的背喷排废口、去边排废口以及各所述收集杯(2)的排废口分别与集液盒(3)密封连接，所述集液盒(3)的一端通过清洗管路与设备厂务口集中供应的清洗液相连通，并在该清洗管路上设有控制清洗管路通断的气动药液阀(7)，所述集液盒(3)的另一端与排废盒(4)相连通，该排废盒(4)上安装有实时监测排废盒(4)内部废液液位的液位传感器(5)，所述排废盒(4)的出口处连接有气控隔膜泵(6)，该排废盒(4)内的废液液位触发液位传感器(5)后通过所述气控隔膜泵(6)排出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司，未经沈阳芯源微电子设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610548002.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
