[发明专利]一种监控方法、微电子加工方法及装置有效
| 申请号： | 201610550444.1 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107624038B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 苏运坤 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/08 | 分类号： | H05K13/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种监控方法、微电子加工方法及装置。该监控方法用于监控加热部件的加热能力，包括：步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化；步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数；步骤S4，获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值；步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围；步骤S7，抛出报警。该微电子加工方法可避免加载功率时的冲击电流造成误报警。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 方法 微电子 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种监控方法，用于监控加热部件的加热能力，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则执行步骤S3，若否，则返回步骤S1；步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则执行步骤S4,若否，则返回步骤S1；步骤S4，获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值；步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，若是，则执行步骤S7；若否，则返回步骤S1；步骤S7，抛出报警。
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