[发明专利]一种配置IO通道的方法及半导体加工方法有效
| 申请号： | 201610552428.6 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107621809B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 尤艳艳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种配置IO通道的方法，包括在上位机配置文件中增加字段以区别不同腔室所对应的IO通道参数信息，从而提高了配置IO通道的灵活性。另外，本发明还提供一种半导体加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 配置 io 通道 方法 半导体 加工 | ||
【主权项】：
1.一种半导体加工设备的IO通道配置方法，其特征在于，/n包括以下步骤：/n步骤S1，根据用户需求对下位机配置文件中所述不同腔室所对应的IO通道参数信息进行配置；/n步骤S2，在上位机配置文件中增加字段，所述字段用以区别不同腔室所对应的IO通道参数信息；/n步骤S3，根据所述下位机配置文件对所述上位机配置文件中的所述IO通道参数信息进行配置；/n步骤S4，修改上位机代码以满足上位机的启动条件。/n
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