[发明专利]一种角向非对称螺旋线慢波结构及该慢波结构的制造方法有效
| 申请号： | 201610554462.7 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106206218B | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡军;邬显平;李莉莉;冯进军;杜英华;潘攀 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J23/26 | 分类号： | H01J23/26;H01J25/34 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 王喆,张文祎 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种角向非对称螺旋线慢波结构，所述慢波结构包括螺旋线、夹持杆和管壳；所述夹持杆的外侧壁与所述管壳的内侧壁连接固定；所述夹持杆中部分夹持杆的内侧壁与所述螺旋线之间通过金属加载连接固定；所述夹持杆中其余部分夹持杆的内侧壁与所述螺旋线之间连接固定。本发明通过在螺旋线和图形金属化夹持杆之间设置金属加载，金属加载使得慢波结构具有角向不对称的特性，在保证了螺旋线色散曲线π模截止频带抑制返波振荡的同时，螺旋线和图形金属化夹持杆之间实现了大面积有效接触，大大降低了螺旋线与夹持杆之间的接触热阻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 螺旋线 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述慢波结构包括螺旋线、夹持杆和管壳；所述夹持杆的外侧壁与所述管壳的内侧壁连接固定；所述夹持杆中部分夹持杆的内侧壁与所述螺旋线之间通过金属加载连接固定；所述夹持杆中其余部分夹持杆的内侧壁与所述螺旋线之间连接固定；所述制备方法包括如下步骤：S1、在螺旋线涂光刻胶；S2、选取部分夹持杆，去除螺旋线上与所选取夹持杆的接触区域的光刻胶；S3、对所选取的夹持杆与金属加载的有效接触区域实施图形金属化；S4、利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成角向非对称金属加载，微电铸后得到螺旋线、金属加载和夹持杆的复合结构；S5、去除螺旋线上的剩余光刻胶；S7、对管壳和上述已得到的螺旋线、金属加载和夹持杆的复合结构进行夹持，连接管壳和夹持杆，得到角向非对称螺旋线慢波结构。
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