[发明专利]洗涤用氢水的制造方法及制造装置有效
| 申请号： | 201610561383.9 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106345327B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 自在丸隆行;王晖;黄斗铁 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司;盛美半导体设备(上海)有限公司;HJS工程有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/08 | 分类号： | B01F3/08;B01F15/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及洗涤用氢水的制造方法及制造装置。本发明的实施方式的洗涤用氢水的制造方法具有以下工序：在第1罐内容纳氨水的工序；将所述氨水从第1罐内转移至第2罐内的工序；在第2罐内将所述氨水用超纯水进行稀释而生成稀释氨水的工序；将所述稀释氨水按照达到规定的氨浓度的方式供给到溶解有氢气的超纯水中的工序；和向第1罐内导入超纯水、并将第1罐内生成的氨来源的微粒用导入至所述第1罐内的超纯水进行洗涤除去的洗涤工序。 | ||
| 搜索关键词： | 洗涤 用氢水 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种洗涤用氢水的制造方法，其特征在于，其具有以下工序：在第1罐内容纳氨水的工序；将所述氨水从所述第1罐内转移至第2罐内的工序；在所述第2罐内将所述氨水用超纯水进行稀释而生成稀释氨水的工序；将所述稀释氨水按照达到规定的氨浓度的方式混合到溶解有氢气的超纯水中的工序；和向所述第1罐内导入超纯水、并将所述第1罐内生成的氨来源的微粒用导入到所述第1罐内的超纯水进行洗涤除去的洗涤工序。
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