[发明专利]显影方法及系统

摘要

本发明公开了一种显影系统及方法，属于显示技术领域，该方法可以应用于显影系统中，该显影系统包括：喷淋组件和浓度调节组件，该方法包括：通过该喷淋组件向待显影基板上的各个显影区域喷淋相同浓度的显影液；通过该浓度调节组件向该待显影基板上的目标显影区域喷淋改变显影液浓度的调节液体，使得在显影过程中该待显影基板上各个显影区域的显影速度相同。本发明可以通过该浓度调节组件对待显影基板上各个显影区域内的显影液浓度进行调节，以保证在显影过程中该待显影基板上各个显影区域的显影速度相同，解决了相关技术中显影均匀性较差的问题，提高了显影系统对基板进行显影时的显影均匀性。本发明用于显影。

主权项

1.一种显影方法，其特征在于，应用于显影系统中，所述显影系统包括：喷淋组件和浓度调节组件，所述方法包括：通过所述喷淋组件向待显影基板上的各个显影区域喷淋相同浓度的显影液；控制所述浓度调节组件的调节参数，使所述浓度调节组件按照所述调节参数向所述待显影基板上的目标显影区域喷淋改变显影液浓度的调节液体，所述调节参数包括启动状态、喷淋量和喷淋温度中的至少一种，所述启动状态包括开启或者关闭，使得在显影过程中所述待显影基板上各个显影区域的显影速度相同；所述调节参数包括启动状态，所述控制所述浓度调节组件的调节参数，包括：在显影的过程中，检测所述待显影基板上所述浓度调节组件的喷淋方向所指向的显影区域是否为所述目标显影区域；当所述待显影基板上所述浓度调节组件的喷淋方向所指向的显影区域为所述目标显影区域时，开启所述浓度调节组件；当所述待显影基板上所述浓度调节组件的喷淋方向所指向的显影区域不为所述目标显影区域时，关闭所述浓度调节组件。