[发明专利]一种使用杂质分解剂的有机氟气体的提纯方法有效

专利信息
申请号: 201610567093.5 申请日: 2016-07-19
公开(公告)号: CN106345264B 公开(公告)日: 2018-10-30
发明(设计)人: 陈刚;叶向荣;张晓东;周井森;王宁;张广第;陈立峰;李军;郑九丽 申请(专利权)人: 浙江博瑞电子科技有限公司
主分类号: B01D53/81 分类号: B01D53/81;C07C17/389;C07C19/08;C07C23/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 324004 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种使用新型杂质分解剂的有机氟气体的提纯方法,首先制备了新型杂质分解剂。含氟有机气体粗品先经过新型杂质分解剂初步精制,再进入吸附剂的吸附塔,吸附后得到高纯的含氟有机气体产品。
搜索关键词: 一种 使用 新型 杂质 分解 有机 氟气 提纯 方法
【主权项】:
1.一种使用杂质分解剂的有机氟气体的提纯方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将氨基羧酸螯合树脂溶胀于5‑10倍重量比氢氧化钠溶液中浸泡2‑10h,氢氧化钠溶液重量百分比浓度5‑20%,使用去离子水洗至pH=7,加入树脂质量百分比含量10‑40%的三氯化铁溶液,三氯化铁溶液的重量百分比浓度5‑20%,加入树脂质量百分比含量0.5‑2%的1‑丁基‑3‑甲基咪唑的氢氧化物([Bmim]OH),加入树脂质量百分比含量0.5‑2%的四甲基胍三氟甲烷磺酸盐,加入树脂质量百分比含量10‑25%的双氧水,于40‑80℃搅拌反应10‑20h,反应结束,过滤,烘干,制得杂质分解剂;(2)有机氟气体粗品进入装有杂质分解剂的反应器中,温度260‑360℃,流速3‑10BV/h,压力0.5‑2.5MPa,得到初步精制的有机氟气体;(3)初步精制的有机氟气体再进入装有吸附剂的吸附塔,温度20‑60℃,流速3‑10BV/h;吸附后得到高纯度的有机氟气体。
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