[发明专利]一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法及装置在审
| 申请号： | 201610569041.1 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106248520A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 金向华;宗立冬;夏致远;孙猛;陈琦峰;周珽;曹文权;许军州;唐璐 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法，包括如下步骤：将三氟化硼原料气按质量分成等量的两份，称为第一三氟化硼原料气和第二三氟化硼原料气，分别进入第一测试流程和第二测试流程。试验证明，本发明的方法可以准确地测量三氟化硼络合物生产过程中三氟化硼尾气的氟化氢含量，具有良好的判定性能，取得了显著的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 氟化 原料 氟化氢 含量 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法，其特征在于，包括如下步骤：将三氟化硼原料气按质量分成等量的两份，称为第一三氟化硼原料气和第二三氟化硼原料气，分别进入第一测试流程和第二测试流程；按三氟化硼原料气的行进方向，所述第一测试流程依次包括吸附器、气液分离器和碱液吸收器；所述吸附器主要用于吸附氟化氢和三氟化硼，所述气液分离器用于将三氟化硼原料气中的氟化氢液化；所述碱液吸收器用于对三氟化硼原料气中剩余的氟化氢进行吸收检测；依次称量三氟化硼原料气通入前后的吸附器、气液分离器和碱液吸收器的质量差，分别记为△m1、△m2和△m3；通入的三氟化硼原料气的质量为m；按三氟化硼原料气的行进方向，所述第二测试流程依次包括气液分离器和碱液吸收器；所述气液分离器用于将三氟化硼原料气中的氟化氢液化；所述碱液吸收器用于对三氟化硼原料气中剩余的氟化氢进行吸收检测；依次称量三氟化硼原料气通入前后的气液分离器和碱液吸收器的质量差，分别记为△m4和△m5；然后按照如下公式计算，即可得到三氟化硼原料气中氟化氢的含量w为：w=1‑[（△m4+△m5）‑（△m1+△m2+△m3）]/m。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州金宏气体股份有限公司，未经苏州金宏气体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610569041.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：湿型球磨机出料检测装置
- 下一篇：沉积物有机质早期成岩演化程度的热鉴定方法
