[发明专利]蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床

摘要

本发明公开了一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，包括机台、立式旋转臂、主轴系统、电机、载物盘和负压机构；该机台顶面设有周向间隔布置的装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位；该立式旋转臂上部固设有悬臂，该主轴系统能相对悬臂上下活动，该电机和载物盘都装接在主轴系统上且电机传动连接载物盘以能带动载物盘转动；该载物盘上设有吸孔，该负压机构接通吸孔；该立式旋转臂设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动，通过立式旋转臂转动能将载物盘分别移至装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位进行相应的加工。它具有如下优点可对蓝宝石晶片进行上料、腐蚀、抛光和下料复合加工，能够快速获得超光滑无损伤的晶片表面，大大提高了蓝宝石晶片加工效率。

主权项

蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，包括机台(1)，其特征在于：还包括立式旋转臂(6)、主轴系统(9)、第一电机(8)、载物盘(10)和负压机构；该机台(1)顶面设有周向间隔布置的装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)，该粗抛位(3)和精抛位(5)上都设有抛光部件，该腐蚀位(4)设有内装有腐蚀液的腐蚀槽(13)；该立式旋转臂(6)上部固设有悬臂(7)，该主轴系统(9)能相对悬臂(7)上下活动，该第一电机(8)和载物盘(10)都装接在主轴系统(9)上且第一电机(8)传动连接载物盘(10)以能带动载物盘(10)转动；该载物盘(10)上设有吸孔，该负压机构接通吸孔；该立式旋转臂(6)设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动，通过立式旋转臂(6)转动能将载物盘(10)分别移至装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)，在装卸位(2)通过载物盘(10)和负压机构配合以装卸晶片，在粗抛位(3)通过晶片和抛光部件配合以粗抛晶片，在腐蚀位(4)通过晶片浸没在腐蚀液内以腐蚀晶片，在精抛位(5)通过晶片和抛光部件配合以精抛晶片；该腐蚀槽(13)呈上大下小的阶梯槽，该阶梯槽具有阶梯面；该腐蚀位(4)还设有升降杆(14)、晶片篮(15)、用于加热腐蚀槽(13)内腐蚀液的加热装置和密封罩(16)；该升降杆(14)能上下升降地装接在腐蚀槽(13)的阶梯面，该晶片篮(15)具有篮体和由篮体上周圈向外延伸的篮缘，该篮体开设有上下贯穿的细孔，该篮缘固接在升降杆(14)顶端；该密封罩(16)能水平移动地连接腐蚀槽(13)且在一个伸入腐蚀槽(13)内且封闭腐蚀槽(13)的封闭位置和一个离开腐蚀槽(13)的打开位置之间移动。