[发明专利]一种铝钇掺杂氧化锌陶瓷靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201610573453.2 | 申请日： | 2016-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN106187151A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 浙江舒玛新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;B28B1/14 |
| 代理公司： | 台州蓝天知识产权代理有限公司 33229 | 代理人： | 周绪洞 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种成分均匀、高纯度、高密度、低成本的铝钇掺杂氧化锌靶材及其制备方法，所述方法为将混合粉体通过在水溶剂中近净尺寸原位固化成型，不添加或添加极少的有机物，产生密度高、强度高、均匀性好、形状不受限制的生坯。烧结成型后的陶瓷靶材纯度大于99.95％，密度大于99％，可达到99.95％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化锌 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝钇掺杂氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，所述方法为将混合粉体通过在水溶剂中近净尺寸原位固化成型得到。
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