[发明专利]一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置在审
| 申请号： | 201610582108.5 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106012025A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 高鹏;耿浩;徐晋勇;唐焱;张应红;孙宁;唐亮;高成;王岩;黄伟 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人： | 陆梦云 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置，该装置包括顺序连接的压力控制部分、流量控制部分、气体扩散方式控制部分。在PLC控制器的控制下，实现将紊乱的涡流气体变成缓和的平流气体。本发明通过对气体浓度、扩散方式及压力的控制为反应提供了更加良好的环境，精确控制反应所需的气体浓度，减少原流量对反应的影响，稳定的气体环境充分提高了扩散方阻的均匀性，提高质量的成品率，更加符合目前产品要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 气体 浓度 方式 自动控制 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置，其特征是：包括压力控制部分、流量控制部分和气体扩散方式控制部分；压力控制部分包括分别与PLC控制器连接的压力开关和电磁阀，该压力控制部分分别设置在扩散炉的各个进气管道之上，通过压力开关和电磁阀控制整个炉体的内的压力；流量控制部分为热式气体质量流量控制器，与压力控制部分连接，通过热式气体质量流量控制器控制气体流量；气体扩散方式控制部分与流量控制部分连接，通过其内设置的气体障板形成平流气体。
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