[发明专利]用于设置工艺配方数据的方法和系统有效
| 申请号： | 201610587600.1 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN107643732B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 尤艳艳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;杨国权 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于设置工艺配方数据的方法和系统，所述方法包括：S1、获取工艺配方的ID，根据所述工艺配方的ID从下位机中获取所述工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；S2、解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；S3、将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。本发明的技术方案实现了对工艺配方单独设置容差值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 设置 工艺 配方 数据 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于设置工艺配方数据的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、获取工艺配方的ID，根据所述工艺配方的ID从下位机中获取所述工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；所述工艺配方的类别包括父类别和子类别，所述容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，所述工艺配方的工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数；S2、解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；S3、将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。
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