[发明专利]一种检测束流角度的方法

摘要

本发明公开了一种检测束流角度的方法，通过三个组成一排的法拉第来检测束流偏转角度，每个法拉第中有5个电流检测传感器，分别是顶部传感器、左边传感器、底部传感器、右边传感器、中心传感器，其中中心传感器由其他四个传感器包围。中心传感器是主要采集束流大小的，其他四个传感器是为了检测束流偏转方向以及角度而设计的，也是用来检测偏转的束流大小。通过这四个传感器分别检测到的束流值，与中心传感器检测到的束流值进行比较，计算得出束流偏转的方向和角度。简单介绍下整个束流角度测量的装置。在法拉第前面是石墨光栏，吸收无法检测到的束流。通过法拉第检测到的束流来判断束流偏转角度。

主权项

1.一种检测束流角度的方法，该装置用于检测束流的角度，其特征包括5个电流检测传感器，分别是顶部传感器(1)、左边传感器(2)、底部传感器(3)、右边传感器(4)、中心传感器(5)。这5个传感器安装在每个法拉第中检测束流值。