[发明专利]阻焊独立对位台框及曝光机有效
申请号: | 201610590681.0 | 申请日: | 2016-07-26 |
公开(公告)号: | CN106054542B | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 张方德;谢桂平 | 申请(专利权)人: | 浙江欧视达科技有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 温州金瓯专利事务所(普通合伙)33237 | 代理人: | 林益建 |
地址: | 325000 浙江省温州市高新技术*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种阻焊独立对位台框及曝光机,该台框包括上台框和下台框,上台框和所述下台框的后端相互铰接而前端可开闭,所述下台框两相对侧设有开启机构,下台框底部设置固定支架,且该固定支架与下台框联动配合,下台框中间设有托盘,托盘相对下台框构成X向、Y向位移配合,且托盘与下台框之间通过密封件密封配合,托盘下方设置用于驱使托盘沿X向或Y向移动或角度偏转的位移驱动装置,位移驱动装置的底部固定设置在固定支架上,托盘前端底部设置用于带动曝光基板进行位置偏移调整的伸缩PIN钉,所述上台框和下台框设有抽真空结构,本发明可以独立调整线路板的位置,能够保证各个台框的线路板调整精度,提高曝光机的曝光精度。 | ||
搜索关键词: | 独立 对位 曝光 | ||
【主权项】:
一种阻焊独立对位台框,包括上台框和下台框,所述上台框和所述下台框的后端相互铰接而前端可开闭,所述下台框两相对侧设有开启机构,其特征在于:所述下台框底部设置固定支架,且该固定支架与下台框联动配合,所述下台框中间设有托盘,所述托盘相对下台框构成X向、Y向位移配合,且所述托盘与下台框之间通过密封件密封配合,所述托盘下方设置用于驱使托盘沿X向或Y向移动或角度偏转的位移驱动装置,所述位移驱动装置的底部固定设置在固定支架上,所述托盘前端底部设置用于带动曝光基板进行位置偏移调整的伸缩PIN钉,所述上台框和下台框设有抽真空结构,所述开启机构设有一控制气缸和一铰接轴,所述控制气缸和铰接轴均呈前后设置,所述控制气缸的前端铰接在所述下台框上,所述控制气缸设有可使相应的铰接轴上下摆动的伸缩推杆,所述伸缩推杆的后端连接至相应的铰接轴的中部,所述铰接轴的后端铰接在所述下台框上,所述铰接轴的内侧凹设有自前端向后端延伸的滑槽,所述上台框的外侧面设有伸入所述滑槽内并在所述铰接轴上下摆动时可沿所述滑槽移动的连接件。
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