[发明专利]一种高浓度乙硼烷混合气体浓度的测试方法在审
| 申请号： | 201610595324.3 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN105974032A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 金向华;丁国栋;孙猛;夏致远 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 胡拥军;陈轩 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高浓度乙硼烷混合气体浓度的测试方法，首先将校正气体中通过氢气稀释至乙硼烷的体积浓度GB2H6，GB2H6<5％，从而计算得到校正气体的充入量为M,氢气的充入量为L；将待测试气体充入容器中，然后将氢气冲入容器中，待测试气体的充入量为M,氢气的充入量为L，然后利用GC‑TCD对第二混合气体进行检测，得到第二混合气体中的乙硼烷的体积浓度，读取待测试的高浓度乙硼烷混合气体的产品检验证书上记录的乙硼烷的体积浓度；最后将待测试气体的中的乙硼烷的真实体积浓度记为SB2H6，按公式一计算得出SB2H6；本发明能够核实高浓度乙硼烷混合气体在使用前的真实浓度，具有准确性高和操作方便的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浓度 乙硼烷 混合气体 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种高浓度乙硼烷混合气体浓度的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将标准的高浓度乙硼烷混合气体充入一个容器中，再用氢气稀释后配置成第一混合气体；其中，标准的高浓度乙硼烷混合气体中乙硼烷的体积浓度SB2H6，SB2H6>5％；第一混合气体中乙硼烷的体积浓度GB2H6，GB2H6<5％；通过计算得到：标准的高浓度乙硼烷混合气体的充入量为M,氢气的充入量为L；2)将待测试的高浓度乙硼烷混合气体充入一个容器中，然后将氢气冲入容器中，其中，待测试的高浓度乙硼烷混合气体的充入量为M,氢气的充入量为L；待混合均匀后得到第二混合气体，利用气相色谱仪配置热导检测器对第二混合气体进行检测，得到第二混合气体中的乙硼烷的体积浓度，记为AB2H6；3)读取待测试的高浓度乙硼烷混合气体的产品检验证书上记录的乙硼烷的体积浓度，记为VB2H6；4)将待测试的高浓度乙硼烷混合气体中的乙硼烷的真实体积浓度记为SB2H6，按公式一计算得出SB2H6；公式一：![]()
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