[发明专利]衬底处理设备有效
| 申请号： | 201610600078.6 | 申请日： | 2016-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106521620B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 玄俊镇;诸成泰;宋炳奎;金龙基;金劲勋;金苍乭;申良湜;金哉佑 | 申请（专利权）人： | 株式会社EUGENE科技 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底处理设备，衬底处理设备包含：管子，其中具有内部空间；衬底支撑单元，其包括多个隔板，多个隔板经配置以将多个衬底垂直堆栈于其上并且将其中处理多个衬底的处理空间在管子中分成多个处理空间；气体供应单元，其经配置以将处理气体供应到多个衬底；以及排气单元，其经安置以面对着气体供应单元来排出管子内部的气体。多个通孔界定于隔板中的每一个中。本发明提供的衬底处理设备能够在衬底上均匀地形成薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理设备，其特征在于，包括：管子，其中具有内部空间；衬底支撑单元，其包括多个隔板，所述多个隔板经配置以将多个衬底垂直堆栈于其上并且将其中处理所述多个衬底的处理空间在所述管子中分成多个处理空间；气体供应单元，其经配置以将处理气体供应到所述多个衬底；以及排气单元，其经安置以面对着所述气体供应单元来排出所述管子内部的气体，其中多个通孔提供于所述多个隔板中的每一个中，所述通孔在跨越气体的流动方向的方向上延伸，所述气体从所述气体供应单元流动到所述排气单元，并且所述多个通孔沿着所述气体的所述流动方向界定在管线中。
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