[发明专利]靶材溅射面的加工方法有效

专利信息
申请号: 201610607832.9 申请日: 2016-07-27
公开(公告)号: CN107662083B 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;梁泽民 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23P15/00 分类号: B23P15/00;C23C14/35
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 高静;吴敏
地址: 315400 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种靶材溅射面的加工方法,包括:提供靶材,所述靶材具有待加工面;采用植绒砂纸对所述待加工面进行抛光处理,以形成溅射面。本发明技术方案通过采用植绒砂纸对所述待加工面进行抛光处理,从而形成溅射面。由于植绒砂纸的抛光效果较好,所以采用植绒砂纸进行抛光处理能够有效提高所形成溅射面的粗糙度以及表面纹路的均匀性,使所形成的靶材能够满足半导体靶材溅射的使用要求。
搜索关键词: 砂纸 靶材 溅射 植绒 抛光处理 待加工面 溅射面 半导体靶材 表面纹路 抛光效果 粗糙度 加工面 均匀性 加工
【主权项】:
1.一种靶材溅射面的加工方法,其特征在于,包括:提供靶材,所述靶材具有待加工面;采用植绒砂纸对所述待加工面进行抛光处理,以形成溅射面;所述植绒砂纸包括与所述待加工面贴合的摩擦部以及与所述摩擦部相连的夹持部,所述夹持部与所述待加工面的夹角在35°到45°范围内;提供靶材之后,抛光处理之前,所述加工方法还包括:对所述待加工面进行车削处理,所述待加工面上形成应力变形层;采用植绒砂纸对所述待加工面进行抛光处理的步骤包括:采用第一植绒砂纸对所述待加工面进行粗抛光处理,去除所述待加工面上的应力变形层,形成粗抛光面;采用第二植绒砂纸对所述粗抛光面进行半精抛光处理,形成半精抛光面;采用第三植绒砂纸对所述半精抛光面进行精抛光处理,形成溅射面;所述第二植绒砂纸的粗糙度小于所述第一植绒砂纸的粗糙度,且大于所述第三植绒砂纸的粗糙度;提供靶材的步骤之后,所述加工方法还包括:将所述靶材固定于机床上;粗抛光处理的步骤中,所述机床的转速为第一转速;半精抛光处理的步骤中,所述机床的转速为第二转速;精抛光处理的步骤中,所述机床的转速为第三转速;所述第二转速大于所述第一转速且小于所述第三转速。
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