[发明专利]扫描反射镜振幅测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201610614644.9 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107664922B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 王兴海;袁明波;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种扫描反射镜振幅测量装置及测量方法。所述扫描反射镜振幅测量装置包括光源，输出光信号；光阑，调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状；扫描反射镜设置结构，用于安置待测量的扫描反射镜，所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号；光电传感器，包括3个以上的传感器单元，探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号；信号采集及处理器，处理所述光电传感器采集到的信号，获得所述扫描反射镜的振幅。由此，能够在扫描反射镜应用前对扫描反射镜特性进行方便测量，识别扫描发射镜性能好坏。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描反射镜 振幅测量装置 测量 光电传感器 反射 采集 传感器单元 光源输出光 设置结构 信号采集 性能好坏 光斑 发射镜 输出光 处理器 安置 光阑 光源 探测 扫描 应用 | ||
【主权项】：
1.一种扫描反射镜振幅测量装置，包括：光源，输出光信号；光阑，调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状；扫描反射镜设置结构，用于安置待测量的扫描反射镜，所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号；光电传感器，包括3个以上的传感器单元，探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号；信号采集及处理器，处理所述光电传感器采集到的信号，获得所述扫描反射镜的振幅；位置调整装置，所述位置调整装置调整所述光电传感器的处于第一位置或第二位置上。
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