[发明专利]盒装置有效
| 申请号： | 201610622573.7 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN106185413B | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 浜田智秀;铃木智也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65H23/04 | 分类号： | B65H23/04;H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟,李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种盒装置，具有第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。 | ||
| 搜索关键词： | 盒装 | ||
【主权项】：
一种盒装置，保持供给辊和回收辊，所述供给辊卷绕有应供给至处理装置的长条的片状基板，所述回收辊卷绕有从所述处理装置搬出的所述片状基板，其特征在于，所述盒装置包括：第一单元部，所述第一单元部保持所述供给辊，并能够借助第一驱动部而在二维平面内移动；第二单元部，所述第二单元部保持所述回收辊，并能够借助第二驱动部而在所述二维平面内移动；控制部，其控制所述第一驱动部和所述第二驱动部，以使得在与所述片状基板的长边方向交叉的短边方向上，所述第一单元部和所述第二单元部共同平移运动，在所述二维平面内的旋转方向上，所述第一单元部和所述第二单元部共同旋转运动。
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