[发明专利]用于多电极MEMS器件的系统和方法有效
| 申请号： | 201610629108.6 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106454665B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | S·巴曾 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 郑立柱;董典红 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本申请涉及用于多电极MEMS器件的系统和方法。根据一个实施例，一种MEMS换能器包括：定子；转子，与所述定子隔开；以及多电极结构，包括具有不同极性的电极。所述多电极结构形成在所述转子和所述定子中的一个上，并且被配置成在所述转子和所述定子之间产生排斥静电力。其它实施例包括相应的系统和装置，均被配置成执行相应实施例的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电极 mems 器件 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统MEMS换能器，包括：/n定子；/n转子，与所述定子间隔开；以及/n多电极结构，形成在所述转子或所述定子中的一个上，所述多电极结构包括第一多个偶极电极并且被配置成当一个或多个偏置电压被施加到所述第一多个偶极电极时在所述转子和所述定子之间产生净排斥静电力，其中所述第一多个偶极电极被配置为：/n当所述定子和所述转子隔开第一距离时，在所述定子和所述转子之间生成所述净排斥静电力，以及/n当所述定子和所述转子隔开大于所述第一距离的第二距离时，在所述定子和所述转子之间生成净吸引静电力。/n
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