[发明专利]一种光波导器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201610632914.9 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107688211B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 李伟龙;孙雨舟;张永干;常江 | 申请（专利权）人： | 苏州旭创科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请揭示了一种光波导器件及其制作方法，方法包括：提供基板；于基板上形成波导层；于波导层上设置第一掩膜板，第一掩膜板包括第一掩膜口；以第一入射角度通过第一掩膜口照射波导层；利用第二掩膜板替代第一掩膜板，第二掩膜板包括第二掩膜口；以第二入射角度通过第二掩膜口照射波导层，其中，经过第一掩膜口与第二掩膜口的光线在波导层中形成有条状重叠区域或未被经过第一掩膜口与第二掩膜口的光线照射到的部分形成有条状重叠区域；经显影后于基板上形成条状波导。本申请通过多次照射实现多次曝光以形成多种形态的光波导，一方面，光波导的入射面较大，出射面较小，便于光线耦合进出，另一方面，光波导的外表面过渡较平缓，大大降低损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种光波导器件制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；于所述基板上形成一波导层；于所述波导层上设置一第一掩膜板，所述第一掩膜板包括第一掩膜口；以第一入射角度通过所述第一掩膜口照射所述波导层；利用第二掩膜板替代第一掩膜板，所述第二掩膜板包括第二掩膜口；以第二入射角度通过所述第二掩膜口照射所述波导层，其中，经过所述第一掩膜口与所述第二掩膜口的光线在所述波导层中形成有条状重叠区域或未被经过所述第一掩膜口与所述第二掩膜口的光线照射到的部分形成有条状重叠区域；经显影后于所述基板上形成条状波导。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州旭创科技有限公司，未经苏州旭创科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610632914.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光波导干涉仪和用于制造光波导干涉仪的方法
- 下一篇：一种多芯铠装光缆连接工艺
