[发明专利]微机电麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 201610634522.6 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107690115B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉;孙丽娜 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 公开了一种微机电麦克风及其制造方法。该微机电麦克风包括：背极板、振膜、以及传感层，其中，所述背极板包括第一表面和第二表面，所述振膜与所述背极板的所述第一表面相对并且相隔预定距离设置，使得可振动的所述振膜与所述背极板之间形成电场，所述传感层贴附于所述背极板的所述第二表面，所述传感层的形变带动所述背极板发生形变。本发明提供的微机电麦克风在具有麦克风功能的基础上集成了其他物理量的传感功能，且结构紧凑，节省布局面积。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电麦克风，其特征在于，包括：背极板，所述背极板包括第一表面和第二表面；振膜，所述振膜与所述背极板的所述第一表面相对并且相隔预定距离设置，使得可振动的所述振膜与所述背极板之间形成电场；传感层，所述传感层贴附于所述背极板的所述第二表面，所述传感层的形变带动所述背极板发生形变。
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