[发明专利]一种无氨氟化物盐电子基板清洗组合物的制备方法

摘要

本发明涉及一种无氨氟化物盐电子基板清洗组合物的制备方法，属于电子基板清洗技术领域。针对碱性清洗剂中含有在清洗过程中易产生氨的碱性物质，能通过生成复杂化合物的形式来溶解或腐蚀金属的问题，本发明提供了一种无氨氟化物盐电子基板清洗组合物的制备方法。本发明以羟甲基纤维素钠，十二烷基磺酸钠，纳米二氧化硅为原料制备多孔二氧化硅，并在其表面覆盖聚丙酰胺与磺胺制备的金属螯合剂，制得固相洗涤剂，再将其与聚丙烯酰胺、双氧水以及四烷基氟化铵制备的液相洗涤剂混合，制得无氨氟化物盐电子基板清洗组合物。本发明通过液相洗涤剂溶解机械平坦化后覆铜电子基板表面杂质，并用固相洗涤剂为磨料，抛光基板表面，同时螯合溶解的金属离子。 1

主权项

1.一种无氨氟化物盐电子基板清洗组合物的制备方法，其特征在于具体制备步骤为：（1）分别称取4~6g羟甲基纤维素钠，4~6g十二烷基磺酸钠，5~10g纳米二氧化硅，加入600~800mL去离子水中，置于300W超声分散机中超声分散15~20min，配制 成悬浊液，将悬浊液放入﹣60~﹣50℃真空干燥箱中，抽至真空度为1~10Pa，冷冻干燥20~30h后，将干燥产物装入电阻炉中煅烧，以5~10℃/min升温至1000~1200℃，保持温度3~4h，自然冷却至室温，取出，得多孔二氧化硅，备用；（2）称取7~8g聚丙烯酰胺，加入500~600mL去离子水中，以300~400r/min搅拌至聚丙烯酰胺完全溶解，并用质量分数为10%甲胺水溶液调节溶液pH为8~11，继续搅拌20~30min，加热至60~70℃，加入17~18g磺胺，保持温度反应3~4h，得金属螯合剂；（3）称取1~2g上述步骤（1）制备的多孔二氧化硅，加入10~12mL上述金属螯合剂中，以200~300r/min搅拌混合15~20min，转入旋转蒸发仪中，蒸发至原混合液体积40~50%，装入105~110℃干燥箱中干燥至恒重，得固相洗涤剂；（4）称取1~2g聚丙烯酰胺，加入20~30mL质量分数为10%双氧水，以200~300r/min搅拌至聚丙烯酰胺完全溶解，加入0.5~1.0g四烷基氟化铵，继续搅拌1~2h，得液相洗涤剂，将1~2g上述固相洗涤剂与液相洗涤剂混合均匀，加入70~80mL去离子水中，并用质量分数为10%甲胺水溶液调节混合液pH为7~10，得无氨氟化物盐电子基板清洗组合物。