[发明专利]晶圆测试机台的远端监控方法及系统有效
| 申请号： | 201610640916.2 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107462821B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 吴展仲;林维莹;许瑞益;杨志勇 | 申请（专利权）人： | 南茂科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马雯雯;臧建明<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆测试机台的远端监控方法及系统。此方法是由监控装置通过网络连线多个测试机台，以控制各个测试机台移入一晶圆，然后在测试机台上挂载准备代码，以控制测试机台读取晶圆的识别参数，并将所读取的识别参数与制造执行系统取得的产品参数比对。其中，若比对结果相符，依序在测试机台上挂载至少一个工作代码，以控制测试机台对晶圆上的多个晶粒进行测试，并输出测试数据。最后，当晶圆的所有晶粒完成测试时，控制各个测试机台将晶圆移出。本技术方案通过在制造执行系统上设定要上机的产品信息及相对应的测试机台的设定信息，配合监控装置获取测试机台现况，可有效提升测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 机台 远端 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆测试机台的远端监控方法，适于由监控装置监控多个测试机台，所述方法包括下列步骤：/n通过网络连线各所述测试机台，以控制所述测试机台移入一晶圆；/n挂载一准备代码于所述测试机台，以控制所述测试机台读取所述晶圆的识别参数，并将所读取的所述识别参数与制造执行系统取得的产品参数比对；/n若比对结果相符，依序挂载至少一工作代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的多个晶粒进行测试，并输出测试数据；以及/n当所述晶圆的所有晶粒完成测试时，控制所述测试机台移出所述晶圆，/n其中依序挂载所述至少一工作代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的所述晶粒进行测试，并输出测试数据的步骤包括：/n挂载一测试代码于所述测试机台，以控制所述测试机台对所述晶圆上的部分所述晶粒进行第一次测试；/n当所述第一次测试结束时，控制所述测试机台停机，并挂载一检查代码于所述测试机台，以检查所述第一次测试的结果是否正常；/n若所述第一次测试的结果正常，继续挂载其他所述至少一工作代码，以控制所述测试机台对所述晶圆上的其他所述晶粒进行测试，并输出所述测试数据，直到所述晶圆的所有晶粒皆完成测试；以及/n若所述第一次测试的结果不正常，结束所述晶圆的测试。/n
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