[发明专利]一种用于电子显微仪器的真空泄放系统有效
| 申请号： | 201610643042.6 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN106298413B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 高云;赵雪松;陈一鸣;邓攀;尚伦;褚乃强 | 申请（专利权）人： | 武汉钢铁有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人： | 钟锋 |
| 地址： | 430083 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，包括泄放装置和控制装置，所述泄放装置包括泄放管道，泄放管道一端为进气口，进气口处设有进气阀，泄放管道的另一端为排气口，排气口通过排气阀与电子仪器的真空室连通；所述泄放管道上设有复合真空计；所述控制装置包括控制器，控制器分别与进气阀、排气阀和复合真空计电连接。所述泄放装置还包括气室，气室通过真空阀与泄放管道连通，真空阀与控制器电连接。本发明的有益效果为本发明采用多个气室，通过多个气室的组合实时调整每次进入电子显微仪器真空室内的气体量，避免了真空泄放初期因压差过大，进气流速过快导致进气量过大，而损坏电子显微仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 显微 仪器 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种用于电子显微仪器的真空泄放系统，其特征在于，包括泄放装置和控制装置，所述泄放装置包括泄放管道，泄放管道一端为进气口，进气口处设有进气阀，泄放管道的另一端为排气口，排气口通过排气阀与电子显微仪器的真空室连通；所述泄放管道上设有复合真空计；所述控制装置包括控制器，控制器分别与进气阀、排气阀和复合真空计电连接；所述泄放装置还包括气室，气室通过真空阀与泄放管道连通，真空阀与控制器电连接。
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