[发明专利]一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法

摘要

本发明公开一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法，包括搭建第一光学成像系统和第二光学成像系统；开启白光光源，通过匀光板将来自白光光源的光束照射在第一微物上；将第一微物置于第一光学成像系统的焦点处；将第二光学成像系统反向放置在第一光学成像系统后端的位置，使第二微物位于第二光学成像系统焦点位置；将观测设备置于所述第二微物后侧，使第二微物位于所述观测设备的焦点处；微调观测设备的焦距，使第二微物和第一微物缩放后的物像在观测设备上清晰显示，比较第二微物和第一微物的物像的重合精度，得到测量结果。本发明提供的基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法，解决了微物在大空间内无法测量重合度的问题。

主权项

1.一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法，采用基于平行光比例成像的远距离微物重合度装置对第一微物和第二微物的重合度进行检测，所述远距离微物重合度检测装置包括白光光源、匀光板、第一光学成像系统、第二光学成像系统以及观测设备，其特征在于，该方法包括：搭建所述第一光学成像系统和所述第二光学成像系统并按照预定比例关系对所述第一和第二光学系统进行调焦后，调节所述第一和第二光学成像系统至同轴；其中，所述预定比例关系是所述第一光学成像系统和所述第二光学成像系统的焦距比与所述第一微物和所述第二微物的几何尺寸比成反比，即f1：f2＝h2：h1，f1、f2分别为所述第一光学成像系统和所述第二光学成像系统的焦距，h1、h2分别为所述第一微物和所述第二微物的几何尺寸；开启所述白光光源，通过所述匀光板将来自所述白光光源的光束匀化为均质白光，照射在所述第一微物上；将所述第一微物置于所述第一光学成像系统的焦点处，使所述第一光学成像系统能够捕捉到所述第一微物均匀清晰的物像；将所述第二光学成像系统沿着光轴反向放置在所述第一光学成像系统后端的预定位置，使所述第二微物位于所述第二光学成像系统的焦点位置；将所述观测设备置于所述第二微物后侧，使所述观测设备与前端光路同轴，调整所述观测设备的位置，使所述第二微物位于所述观测设备的焦点处；微调所述观测设备的焦距，使所述第二微物和所述第一微物缩放后的物像在所述观测设备上清晰显示，比较所述第二微物和所述第一微物的物像的重合精度，得到测量结果。