[发明专利]一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统在审
| 申请号： | 201610646086.4 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106011863A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统，它包括依次连接的蚀刻线（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）和子液罐（8），铜离子无损分离系统还连接有一提铜装置（9），蚀刻线（1）、中转母液罐、母液罐、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）、子液罐（8）、提铜装置（9）上均设置有检测对应部件的检测仪，检测仪与控制器连接，控制器内设置有能将异常信息发给对应负责人的短消息模块。本发明的有益效果是：它具有药液回用率高、安全性能高的优点，实现了蚀刻液封闭式自体循环和平行式无损分离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 封闭式 体循环 碱性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
【主权项】：
一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统，它包括依次连接的蚀刻线（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）、子液罐（8），所述的子液罐（8）再与蚀刻线（1）连接形成封闭循环，所述的相邻两个部件之间均设置有高压泵，其特征在于：所述的铜离子无损分离系统还连接有一提铜装置（9），所述的蚀刻线（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）、子液罐（8）、提铜装置（9）和高压泵上均设置有检测对应部件的检测仪，所述的检测仪与控制器连接，所述的控制器内设置有能将异常信息发给对应负责人的短消息模块。
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