[发明专利]一种用于电化学刻蚀加工的微流控装置及其应用方法有效
| 申请号： | 201610663439.1 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN106191983B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 时康;吴丹;郑宣;王亚会;张劲福;田中群 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C25F7/00 | 分类号： | C25F7/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;游学明 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电化学刻蚀加工的微流控装置及其应用方法，涉及金属、合金及半导体表面的纳米加工技术领域。采用中心开孔的盘式电极为工具电极，在工具电极的一面用软管包封中心孔的上端使之与流动注射泵相连；将工具电极具有纳米平整度的另一面作为工作面平放在工件上，并以厚度均一的绝缘薄膜碎片为垫片，使工具电极和工件表面形成盘状微间隙构成微流通道；用流动注射泵驱使工作液从工具电极的中心孔流入微间隙，工作液在平面所有方向上等速地流过整个盘状微间隙。本发明的微流控装置结构简单，能够同时更新微间隙内的工作溶液和移除刻蚀产物，使大面积的刻蚀加工可持续地进行。 | ||
| 搜索关键词： | 工具电极 微间隙 微流控装置 电化学刻蚀 流动注射 工作液 中心孔 盘状 加工 纳米加工技术 半导体表面 工件表面 工作溶液 厚度均一 绝缘薄膜 刻蚀产物 微流通道 中心开孔 软管 平整度 上端 包封 垫片 刻蚀 盘式 移除 合金 应用 金属 更新 | ||
【主权项】：
1.一种利用电化学原位产生的氧化剂化学刻蚀加工工件表面的微流控装置，包括容器(11),容器(11)内设有工作溶液(10)，还设有辅助电极(7)与参比电极(8)，外接电化学工作站(9)；其特征在于：还包括工具电极(1)，其为设有中心孔(3)的一面具有纳米平整精度的盘式电极，电极(1)的中心孔(3)的一端与流动注射泵(4)的入口/出口相连，流动注射泵(4)的出口/入口接工作溶液(10)；电极(1)具有纳米平整精度的一面放置于工件(5)表面；电极(1)与工件(5)之间设有绝缘垫片(6)，使电极(1)与工件(5)之间形成盘状微间隙，构成微流通道(12)。
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