[发明专利]还原炉及使用该还原炉的多晶硅生产工艺在审
申请号: | 201610666386.9 | 申请日: | 2016-08-15 |
公开(公告)号: | CN107758671A | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 齐林喜;贾海军 | 申请(专利权)人: | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 015543 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 一种还原炉,用于多晶硅生产,包括还原炉底盘、设置在还原炉底盘上的还原炉钟罩及设置在还原炉底盘上的电极,电极的间距在80到200毫米之间。本发明还提供了使用该还原炉的多晶硅生产工艺。本发明的还原炉在多晶硅生产过程中,密度增大,硅棒之间辐射热量增大,热量和物料利用率增加,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 还原 使用 多晶 生产工艺 | ||
【主权项】:
一种还原炉,用于多晶硅生产,包括还原炉底盘、设置在还原炉底盘上的还原炉钟罩及设置在还原炉底盘上的电极,其特征在于,电极的间距在80到200毫米之间。
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