[发明专利]表面波等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201610666868.4 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN107731646B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 韦刚;昌锡江;柏锦枝 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的表面波等离子体加工设备，其包括反应腔室、微波传输机构以及谐振机构，谐振机构包括谐振腔、金属天线板、介质件和多个金属探针，谐振腔设置在反应腔室的顶部；多个金属探针是可升降的，其下端自谐振腔的顶部竖直延伸至谐振腔的内部；在金属天线板上设置有沿其厚度方向贯穿的多个通孔，多个通孔的数量和位置与多个金属探针的数量和位置一一对应；介质件用于将微波能量耦合进入反应腔室内。通过调节各个金属探针的下端与金属天线板之间的竖直间距，来调节在反应腔室内形成的等离子体的密度分布。本发明提供的表面波等离子体加工设备，其可以实时调节等离子体的分布，从而满足在不同的工艺条件下对等离子体分布的不同要求。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种表面波等离子体加工设备，包括反应腔室及用于向所述反应腔室提供微波能量的微波传输机构，其特征在于，还包括谐振机构，所述谐振机构包括谐振腔、金属天线板、介质件和多个金属探针，其中，所述谐振腔设置在所述反应腔室的顶部；所述多个金属探针是可升降的，且其下端自所述谐振腔的顶部竖直延伸至所述谐振腔的内部；所述金属天线板用作所述谐振腔的底部腔壁，且在所述金属天线板上设置有沿其厚度方向贯穿的多个通孔，所述多个通孔的数量和位置与所述多个金属探针的数量和位置一一对应；所述介质件用于将所述微波能量耦合进入所述反应腔室内；通过调节各个所述金属探针的下端与所述金属天线板之间的竖直间距，来调节在所述反应腔室内形成的等离子体的密度分布。
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