[发明专利]一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备有效
| 申请号： | 201610675863.8 | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN106198397B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 齐发;徐海涛;刘超;钱娟娟;彭亮亮;欧阳欠;江涛 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G03F7/16 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备，涉及显示器制造技术领域，用于解决对shell mura进行检测时费时费力且容易出现判断不准确的问题。该光电检测装置包括：光源，用于产生检测光束并将检测光束投射至透明基板；与光源相对固定且位于光源后方的接收处理器，用于接收由透明基板的上表面反射检测光束产生的第一反射光和由透明基板的下表面反射检测光束产生的第二反射光并获取测量光程差；其中，测量光程差为第一反射光的光程和第二反射光的光程的差值；接收处理器还用于判断测量光程差是否满足预设条件以及在测量光程差不符合预设条件时确认透明基板上具有水波纹。本发明用于shell mura的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 检测 装置 方法 光刻 胶涂覆 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光电检测装置，用于检测透明基板上的水波纹，其特征在于，包括：/n光源，用于产生检测光束并将所述检测光束投射至透明基板；/n接收处理器，所述接收处理器与所述光源相对固定且沿所述光电检测装置对所述透明基板检测时的运动方向，所述接收处理器位于所述光源前方；所述接收处理器用于接收由所述透明基板的上表面反射所述检测光束产生的第一反射光和由所述透明基板的下表面反射所述检测光束产生的第二反射光并获取测量光程差；其中，所述测量光程差为所述第一反射光的光程和所述第二反射光的光程的差值；/n所述接收处理器还用于判断所述测量光程差是否满足预设条件以及在所述测量光程差不符合预设条件时确认所述透明基板上具有水波纹。/n
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