[发明专利]扩散源涂覆装置有效
| 申请号： | 201610681849.9 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106065495B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 张松;刘成法;张为国;刘超;陈寒 | 申请（专利权）人： | 上海大族新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D1/02;H01L21/228;C30B31/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘雯 |
| 地址： | 201615 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扩散源涂覆装置。扩散源涂覆装置用于涂覆样品，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，旋转机构与固定架连接，支架与旋转机构连接，喷嘴阵列与支架连接，喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个喷嘴均设置于支架上，扩散源涂覆装置对样品进行涂覆时，旋转机构带动支架旋转，使设置在支架上的喷嘴旋转对样品进行扩散源涂覆。上述扩散源涂覆装置能提高涂覆效果和加工效率，节约扩散源材料、降低工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 源涂覆 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扩散源涂覆装置，用于涂覆样品，其特征在于，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，所述旋转机构与所述固定架连接，所述支架与所述旋转机构连接，所述喷嘴阵列与所述支架连接，所述喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个所述喷嘴均设置于所述支架上，还包括供液泵和多个供液管路，各所述供液管路的一端均与所述供液泵连接，各所述供液管路的另一端分别与对应的所述喷嘴连接，多个所述喷嘴中的部分所述喷嘴组成第一喷嘴组，另一部分所述喷嘴组成第二喷嘴组，所述供液泵包括第一供液泵和第二供液泵，与所述第一喷嘴组中的所述喷嘴连接的所述供液管路连接至所述第一供液泵，与所述第二喷嘴组中的所述喷嘴连接的所述供液管路连接至所述第二供液泵，所述扩散源涂覆装置对所述样品进行涂覆时，所述旋转机构带动所述支架旋转，使设置在所述支架上的所述喷嘴旋转对所述样品进行扩散源涂覆。
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