[发明专利]基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪有效
| 申请号： | 201610685298.3 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN106323455B | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 郭泉;杨选辉 | 申请（专利权）人： | 中国地震局地壳应力研究所 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 王宇杨;刘振 |
| 地址： | 100085*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，包括：MEMS微气压计模块、信号输出模块、信号远程传输模块；其中，所述MEMS微气压计模块有偶数个，这些MEMS微气压计模块成差分式结构；所述MEMS微气压计模块用于采集次声波信号，所采集的次声波信号经信号输出模块输出，并由所述信号远程传输模块传输到外部的远程服务器。 | ||
| 搜索关键词： | 气压计 差分式 信号输出模块 信号远程传输 次声波信号 次声波 监测仪 采集 远程服务器 传输 输出 外部 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS微气压计的差分式次声波监测仪，其特征在于，包括：MEMS微气压计模块、信号输出模块、信号远程传输模块；其中，所述MEMS微气压计模块有偶数个，这些MEMS微气压计模块成差分式结构；所述MEMS微气压计模块用于采集次声波信号，所采集的次声波信号经信号输出模块输出，并由所述信号远程传输模块传输到外部的远程服务器；所述MEMS微气压计模块成差分式结构包括：一个MEMS微气压计模块为密闭腔室结构，其包括前腔与后腔，前腔与后腔之间通过一前后腔隔板隔离，在所述前后腔隔板的两侧各自安装有一个MEMS模块核心感应芯片，在所述前后腔隔板上安装有一压力平衡管，在前腔与后腔上还分别向外伸出一根传声导管：入口导管和出口导管；一个MEMS微气压计模块的入口导管作为外界大气通道，其出口导管与另一个MEMS微气压计模块的入口导管通过传声管道连接，所述另一个MEMS微气压计模块的出口导管作为外界大气通道，这两个MEMS微气压计模块形成一个子系统；同一子系统内的MEMS微气压计模块相隔至少10米；所有MEMS微气压计模块在圆周上间隔相同的角度分布且属于同一子系统的两个MEMS微气压计模块在圆周上对角分布。
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