[发明专利]用于多管PECVD设备的自动上下料系统及其方法

摘要

一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统，包括推车、缓存架、石墨舟、石墨舟装载机构、推舟、上水平导轨、下水平导轨及垂直导轨，垂直导轨滑设于水平导轨上，推舟滑设于垂直导轨上，石墨舟装载机构与推舟连接，推舟的推送方向与推舟导向机构所在的平面垂直，推车和缓存架的底部均预留取放口。上料：将石墨舟推送至设定位置，将石墨舟装载机构推送至取放口下方，石墨舟装载机构上升将石墨舟托起与推车分离，石墨舟装载机构上升至高度与反应腔体一致，石墨舟装载机构将石墨舟送入反应腔体内；下料：石墨舟装载机构将石墨舟从反应腔体内取出；推舟将石墨舟装载机构推送至取放口上方，石墨舟装载机构下降经过取放口后，石墨舟落于缓存架或推车上。

主权项

1.一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统，包括推车（1）、缓存架（2）、石墨舟（3）、石墨舟装载机构（4）及推舟（5），其特征在于：还包括推舟导向机构（6），所述推舟导向机构（6）包括上水平导轨（61）、下水平导轨（62）及垂直导轨（63），所述垂直导轨（63）上下两端分别滑设于所述上水平导轨（61）和下水平导轨（62）上，所述推舟（5）滑设于所述垂直导轨（63）上，所述石墨舟装载机构（4）与所述推舟（5）连接，所述推舟（5）的推送方向与所述推舟导向机构（6）所在的平面垂直，所述推车（1）和所述缓存架（2）的底部均预留供所述石墨舟装载机构（4）通过的取放口（7），所述推舟（5）包括第一悬臂板（51）、第二悬臂板（52）、第一驱动机构（53）及滑设于所述垂直导轨（63）上的安装座（59），所述第一悬臂板（51）与所述安装座（59）固定连接并于下侧固设沿推送方向布置的第一滑动导轨（511），所述第二悬臂板（52）上侧固设有第一滑块（521），所述第一滑块（521）滑设于所述第一滑动导轨（511）上，所述第一驱动机构（53）包括第一驱动电机（531）、一对第一皮带轮（532）及绕设于一对第一皮带轮（532）上的第一传动皮带（533），一对所述第一皮带轮（532）安装于所述第一悬臂板（51）上并沿所述第一滑动导轨（511）的长度方向布置，所述第一驱动电机（531）与其中一个第一皮带轮（532）连接，所述第二悬臂板（52）与所述第一传动皮带（533）固定连接。