[发明专利]一种光栅尺定位分配精度补偿的方法

摘要

本发明公开了一种光栅尺定位分配精度补偿的方法，通过在直线电机的行程内设置多个预置点，并同时对比激光干涉仪测量值和光栅尺测量值，以激光干涉仪测量值为准对比出光栅尺测量值的线性误差和局部误差，通过补偿原始光栅尺测量值的线性误差和局部误差，获得更准确的光栅尺测量值，提高测量精度。

主权项

1.一种光栅尺定位分配精度补偿的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.先在直线电机的行程范围内设定N个预置点，设定后直线电机回零，然后光栅尺测量值清零，激光干涉仪测量值清零；S2.直线电机运动至该N个预置点中的某个预置点，并记录激光干涉仪测量值和光栅尺测量值；S3.以激光干涉仪测量值为基准，将激光干涉仪测量值和光栅尺测量值相减获得两者间的误差值；S4.对同一预置点重复m次上述过程，求出该同一预置点在m次测试中的光栅尺测量值的平均值Xi以及误差值平均值σi；S5.重复上述过程，分别获得该N个预置点处的光栅尺测量值的平均值Xi以及误差值平均值σi，绘出Xi‑σi坐标分布图；S6.对S5中获得的Xi‑σi坐标分布图进行线性拟合，得到线性误差补偿直线，其中该线性误差补偿直线的线性表达式为σ＝kx+a，其中σ为线性误差值，x为原始光栅尺测量值，k为直线斜率，a为线性系数；然后根据公式y1＝x‑σ,获得补偿线性误差后的光栅尺测量值，其中y1为补偿线性误差后的光栅尺测量值，x为原始光栅尺测量值，σ为线性误差值；S7.将每个预置点的在m次测试中获取的误差值与其对应的线性误差值σ相减获取局部误差θi，根据某点的局部误差θi以及其对应的光栅尺测量值x，绘出θi‑x坐标分布图；S8.对S7中获得的θi‑x坐标分布图进行高次函数拟合，获得拟合函数θ＝anxn+an‑1xn‑1+…+ax+b，然后根据公式y2＝y1‑θ计算补偿局部误差后的光栅尺测量值，其中y2为补偿局部误差后的光栅尺测量值，y1为补偿线性误差后的测量值，θ为局部误差。