[发明专利]一种用于大面积MCP清刷测试的真空装置

摘要

本发明提供一种用于大面积MCP清刷测试的真空装置，包括分子泵、闸板阀、支撑台架、真空室上盖、转轴组件、真空室底盘组件、转盘、接线柱。支撑台架水平设置且承载面设置若干通孔，真空室底盘组件设置于支撑台架上表面且端面设置与支撑台架一通孔匹配的分子泵通孔，真空室上盖上设置一观察窗且真空室上盖与真空室底盘同心闭合并于非工作状态下可分离，转轴组件穿过真空室底盘组件，转盘设置于真空室内部用于承载MCP及荧光屏组件且在转轴组件的驱动下转动，闸板阀设置于支撑台架下表面且设置一可闭合或打开的阀孔且阀孔与分子泵通孔对应，分子泵设置于闸板阀下端面且分子泵抽气口与阀孔对应，接线柱沿转盘的周向设置于转盘上。

主权项

1.一种用于大面积MCP清刷测试的真空装置，其特征在于，包括分子泵(3)、闸板阀(4)、支撑台架(5)、真空室上盖(8)、转轴组件(10)、真空室底盘组件(11)、转盘(12)、接线柱(13)；其中支撑台架(5)水平设置且承载面设置若干通孔，真空室底盘组件(11)设置于支撑台架(5)上表面且端面设置与支撑台架(5)一通孔匹配的分子连接管(11‑4)，真空室上盖(8)上设置一观察窗(9)且真空室上盖(8)与真空室底盘组件(11)同心闭合并于非工作状态下可分离，转轴组件(10)穿过真空室底盘组件(11)，转盘(12)设置于真空室内部用于承载MCP及荧光屏组件且在转轴组件(10)的驱动下转动，闸板阀(4)设置于支撑台架(5)下表面且设置一可闭合或打开的阀孔且阀孔与分子泵连接管(11‑4)对应，分子泵(3)设置于闸板阀(4)下端面且分子泵(3)抽气口与阀孔对应，接线柱(13)沿转盘(12)的周向设置于转盘(12)上；所述真空室底盘组件(11)端面上还以转轴组件(10)旋转轴为中心设置4个入光连接管(11‑11)和4个电极连接管(11‑16)，其中入光连接管(11‑11)在工作时用于提供外部光源通道，电极连接管(11‑16)工作时用于提供MCP及荧光屏组件和外部电源连接通道；所述转盘(12)端面设置与入光连接管(11‑11)匹配的通光孔；外部转动转轴组件(10)带动转盘(12)转动，实现清刷测试工位的切换。