[发明专利]激光加工系统及激光调焦方法有效
| 申请号： | 201610702455.7 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN106216831B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 王焱华;庄昌辉;李福海;曾威;朱炜;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/38;B23K26/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 余哲玮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种激光加工系统及激光调焦方法；激光加工系统包括激光发生器；聚焦物镜，激光发生器产生的激光通过聚焦物镜汇聚；CCD相机，通过聚焦物镜成像，聚焦物镜为CCD相机的成像物镜，聚焦物镜的焦点与CCD相机的成像焦平面重合；及，标靶机构，包括第一光源、反射镜及标靶，标靶贴合于反射镜上，第一光源发出的光照射至反射镜上，并经过聚焦物镜，并最终在CCD相机的成像焦平面上形成标靶的虚像。上述激光加工系统及使用该激光加工系统的激光调焦方法，对图像的识别度高，误差小，对焦点落在晶圆片表面的精确的聚焦物镜高度值寻找精确度较高，对激光加工的深度控制起到很好的控制，可以提高激光加工的整体良率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 系统 调焦 方法 | ||
【主权项】：
一种激光加工系统，其特征在于，包括：用于产生激光的激光发生器；聚焦物镜，所述激光发生器产生的激光通过所述聚焦物镜汇聚；CCD相机，通过所述聚焦物镜成像，所述聚焦物镜为所述CCD相机的成像物镜，所述聚焦物镜的焦点与所述CCD相机的成像焦平面重合；及标靶机构，包括第一光源、反射镜及标靶，所述标靶贴合于反射镜上，所述第一光源发出的光照射至所述反射镜上，并经过所述聚焦物镜，并最终在所述CCD相机的成像焦平面上形成标靶的虚像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大族激光科技产业集团股份有限公司，未经大族激光科技产业集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610702455.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种辊颈加热机床
- 下一篇：一种多光束阵列振镜扫描系统
