[发明专利]溅射靶材用硅锆合金的制备方法在审
| 申请号： | 201610707859.5 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106367625A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李鹏廷;王凯;任世强;谭毅;姜大川 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C22C1/05 | 分类号： | C22C1/05;C22C28/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射靶材用硅锆合金的制备方法，其特征在于，包括如下步骤筛选后的高纯硅粉和水封锆粉经清洗处理和烘干处理，提高纯洁度；按照预设比例将高纯硅粉和水封锆粉置于容器中，制成均匀分布的混合粉；将混合均匀的混合粉过筛，放入坩埚中，再将坩埚放入石墨模具中，装入热压炉腔内部；采用惰性气体加压，在真空环境下热压烧结，轴向施压，升温到1000‑1500℃，保温预设时间；保温程序结束后，降温处理，在400℃以下关闭抽真空设备，炉体自然冷却降温，最终获得热压烧结好的硅锆合金铸锭。本发明硅锆合金靶材的制备方法工艺流程简单，能耗少，成本低，且制备的靶材组织成分分布均匀，具有优异的溅射使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 靶材用硅锆 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材用硅锆合金的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、筛选后的高纯硅粉和水封锆粉经清洗处理和烘干处理，提高纯洁度；S2、按照预设比例将高纯硅粉和水封锆粉置于容器中，制成均匀分布的混合粉；S3、将混合均匀的混合粉过筛，放入坩埚中，再将坩埚放入石墨模具中，装入热压炉腔内部；S4、采用惰性气体加压，在真空环境下热压烧结，轴向施压，升温到1000‑1500℃，保温预设时间；S5、保温程序结束后，降温处理，在400℃以下关闭抽真空设备，炉体自然冷却降温，最终获得热压烧结好的硅锆合金铸锭。
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