[发明专利]一种柔性大行程微纳加工设备

摘要

本发明公开了一种柔性大行程微纳加工设备，包括平台底座和滑动设置于平台底座上的加工执行平台，和输入方向相互垂直设置的两组运动输入装置，运动输入装置的输出头均连接有单自由度的微定位位移装置；微定位位移装置对称的连接有杠杆及拉杆与柔性铰链的连接结构，并通过此机构与加工执行平台该侧的两端连接。在各自的输出端设置微定位位移装置，通过拉杆和柔性铰链的传动，将位移以准确倍率放大输出，由于运动输入方向相互垂直所以输出的位移能够有效覆盖整个工作平面的各个方向，实现多自由度的准确位移；通过运动输入方向相邻侧设置的拉杆和柔性铰链有效实现对该位移方向上的解耦，有效避免部件间的摩擦爬行，提高了位移输出的精度。

主权项

1.一种柔性大行程微纳加工设备，其特征在于，包括平台底座和滑动设置于所述平台底座上的加工执行平台，和均与所述平台安装固定的输入方向相互垂直设置的两组运动输入装置，所述运动输入装置的输出头均连接有沿各自运动输出方向设置的单自由度的微定位位移装置；所述微定位位移装置包括输出台，所述输出台的首尾两端对称的连接有第一拉杆和第二拉杆，所述第一拉杆和所述第二拉杆均平行于运动输入方向，二者的尾端均朝向对应的运动输入装置，所述第一拉杆和所述第二拉杆的尾端分别与第一杠杆和第二杠杆的中段通过柔性铰链连接；所述第一杠杆和所述第二杠杆的首端均与所述平台底座通过柔性铰接连接，所述第一杠杆和所述第二杠杆的尾端分别通过柔性铰链连接有第三拉杆和第四拉杆，所述第三拉杆和所述第四拉杆均平行于该运动输入装置的输入方向，所述第三拉杆和所述第四拉杆分别与所述加工执行平台用于连接所述第一杠杆的一侧的两端连接；所述加工执行平台另外两侧还连接有与上述两组运动输入装置的输入方向分别相反的两组反向运动输入装置，所述反向运动输入装置也通过对应的微定位位移装置与所述加工执行平台连接；所述微定位位移装置包括与所述运动输入装置的输出头连接的杠杆组件，所述杠杆组件包括三级互相联动的杠杆，杠杆之间、杠杆与所述平台底座之间均通过柔性铰链连接，所述杠杆组件的输出端与所述输出台之间通过柔性铰链连接，将所述输出头输出的运动按一定比例放大；所述微定位位移装置还设置有本体与所述平台底座安装固定的固定部，所述第一杠杆和第二杠杆的首端均通过所述固定部与所述平台底座连接；所述第三拉杆和所述第四拉杆与所述加工执行平台之间均通过柔性铰链连接；所述平台底座与所述微定位位移装置之间设置平台垫片，用于阻止二者直接接触，防止摩擦影响微定位位移装置输出位移精度。