[发明专利]影像感测器

摘要

一种具有反射器的背面照射(Backside Illuminated；BSI)影像感测器是被提供。像素感测器是配置于半导体基材的底侧上，且此像素感测器包含光侦测器，其中此光侦测器配置于半导体基材内。内连接结构是配置于半导体基材和像素感测器下，且内连接结构包含内连接层和接触窗。其中，此接触窗是由内连接层延伸至像素感测器。反射器是配置于光侦测器下，且介于内连接层和光侦测器之间。反射器是配置以朝光侦测器反射入射辐射线。

主权项

一种影像感测器，其特征在于，该影像感测器包含：一像素感测器，配置于一半导体基材的一底侧上，其中该像素感测器包含一光侦测器，且该光侦测器配置于该半导体基材内；一内连接结构，配置于该半导体基材和该像素感测器下，其中该内连接结构包含一内连接层和一接触窗，且该接触窗由该内连接层延伸至该像素感测器；以及一反射器，配置于该光侦测器下，且介于该内连接层和该光侦测器之间，其中该反射器配置以朝该光侦测器反射入射辐射线。