[发明专利]一种抗PID太阳能电池返工片的处理方法

摘要

本发明公开了一种抗PID太阳能电池返工片的处理方法，涉及太阳能电池技术领域。本发明的抗PID太阳能电池返工片的处理方法，包括将返工片去膜清洗、在线式钝化炉钝化、镀膜、丝网印刷和烧结的步骤，所述去膜清洗包括将返工片进行酸洗、水洗、风干的步骤；是在现有的湿法机台的基础上做出优化，返工片不用重新经过制绒、扩散、刻蚀的工序，减少了返工片因为二次制绒导致的不良，简化了工序，降低了成本。本发明的抗PID太阳能电池返工片的处理方法，优化了返工片处理流程，减少了因返制绒处理返工片导致的不良，降低了返工片处理成本，制备得到的太阳能电池返工片具有良好的抗PID效果。

主权项

一种抗PID太阳能电池返工片的处理方法，其特征在于，包括将返工片去膜清洗、在线式钝化炉钝化、镀膜、丝网印刷和烧结的步骤，所述去膜清洗包括将返工片进行酸洗、水洗、风干的步骤；所述在线式钝化炉钝化的过程为臭氧氧化工艺；所述臭氧氧化工艺为：利用格瑞特在线式钝化炉，把氧气通入到臭氧发生器中产生臭氧，其中O2流量≥5L/min，O2通入压强≥0.1MPa，臭氧浓度≥800ppm，将太阳能电池返工片置于臭氧氛围中氧化，得到带有二氧化硅层的太阳能电池返工片；所述镀膜过程为：将带有二氧化硅层的太阳能电池返工片利用管式PECVD沉积一层氮化硅薄膜，具体工艺参数为：沉积压力为1600～1700mtorr，氨气流量为5000～8000sccm，硅烷流量为800～1150sccm，射频功率为5500～7500w，沉积温度为450～500℃；所述在线式钝化炉钝化处理与所述镀膜处理之间间隔时间控制在2h以内。