[发明专利]镜片防污染装置及方法有效
| 申请号： | 201610767140.0 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107783283B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 郝保同;郎东春 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镜片防污染装置及方法，包括第一装置及第二装置，所述第一装置靠近所述镜片，所述第二装置远离所述镜片；其中，所述第一装置输出保护层气体，通过喷嘴使保护层气体紧贴镜片下表面均匀流过，可以清洁已污染的镜片并形成保护层以防止再次污染；所述第二装置带离污染源附近气体，污染气体通过小孔进入环形腔体，并由排气通道的抽排动力排到远离的环境中。曝光前，先开启第一装置，再开启第二装置，曝光结束12小时后可关闭第二装置。本发明方案可更好解决光刻胶有机物挥发污染镜片，安装实施简便，使用寿命长，成本低廉，可靠性高，并保证污染物完全清除，不进入物镜内部。 | ||
| 搜索关键词： | 镜片 污染 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镜片防污染装置，其特征在于，所述镜片防污染装置包括第一装置及相连的第二装置，所述第一装置靠近所述镜片，所述第二装置远离所述镜片；其中，/n所述第一装置输出保护层气体，在所述镜片表面形成气帘保护层；/n所述第二装置用于对上述保护层气体和/或污染气体的抽排；/n其中，所述第一装置包括一个闭合容器，所述闭合容器位于镜片边缘下表面，所述闭合容器为扇环型气帘腔体，并且所述闭合容器的内环侧表面紧贴放置在镜片边缘外侧表面；/n其中，所述第二装置包括一个环形腔体，所述环形腔体下表面有若干小孔，所述环形腔体上表面环绕并紧贴在第一装置下表面边缘，所述环形腔体下表面直接面对硅片。/n
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