[发明专利]提高电铸微流控镍模具寿命的方法及电铸微流控镍模具有效
| 申请号： | 201610772529.4 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106222708B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郭哲;刘祝凯;许斌;李晓龙;胡在兵 | 申请（专利权）人： | 北京同方光盘股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 101500 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高电铸微流控镍模具寿命的方法，包括：根据微流控设计的图形，设计、制备负性掩模板；在衬底上旋涂负性光刻胶；利用所述负性掩模板对所述衬底上的光刻胶进行曝光、显影处理；对显影处理后得到的光刻胶图形进行表面金属化处理；将表面金属化的光刻模具进行电铸处理，得到电铸模具；将所述电铸模具进行减薄打磨处理，获得所需电铸微流控镍模具。本方法通过合理设计安排电铸微流控镍模具中镍板的厚度，再借助精密打磨设备，将电铸出的镍模具背部打磨平，借助此方法增强了镍模具的机械强度，大大提高了微流控镍模具的寿命，节约了模具制备成本，间接提高了微流控芯片的片间均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 微流控 电铸 模具 表面金属化 电铸模具 模具寿命 显影处理 掩模板 衬底 负性 负性光刻胶 光刻胶图形 片间均匀性 微流控芯片 打磨处理 打磨设备 模具背部 模具制备 光刻胶 光刻 减薄 镍板 上旋 制备 打磨 精密 曝光 节约 | ||
【主权项】：
1.一种提高电铸微流控镍模具寿命的方法，其特征在于，所述方法包括：根据微流控设计的图形，设计、制备负性掩模板；在衬底上旋涂负性光刻胶；利用所述负性掩模板对所述衬底上的光刻胶进行曝光、显影处理；对显影处理后得到的光刻胶图形进行表面金属化处理；将表面金属化的光刻模具进行电铸处理，得到电铸模具；其中，电铸的厚度为光盘注塑机正常模具的厚度加上信息层的高度；将电铸模具中信息层的背部悬空的部分打磨掉，使得电铸的厚度变为适合光盘注塑机使用的位置，获得所需电铸微流控镍模具。
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